（特定半導体生産施設整備等計画の変更等）
第十二条
前条第一項の認定を受けた事業者（以下「認定特定半導体生産施設整備等事業者」という。）は、当該認定に係る特定半導体生産施設整備等計画を変更するときは、あらかじめ、主務省令で定めるところにより、主務大臣の認定を受けなければならない。
2主務大臣は、認定特定半導体生産施設整備等事業者がその認定に係る特定半導体生産施設整備等計画（前項の規定による変更の認定があったときは、その変更後のもの。以下「認定特定半導体生産施設整備等計画」という。）に従って特定半導体生産施設整備等を実施していないと認めるときは、当該認定を取り消すことができる。
3主務大臣は、認定特定半導体生産施設整備等計画が前条第三項各号のいずれかに適合しないものとなったと認めるときは、認定特定半導体生産施設整備等事業者に対して、当該認定特定半導体生産施設整備等計画の変更を指示し、又はその認定を取り消すことができる。
4主務大臣は、前二項の規定により前条第一項の認定を取り消したときは、その旨を公表するとともに、機構に通知するものとする。
5前条第三項から第五項までの規定は、第一項の規定による変更の認定について準用する。