（特定排出者の事業活動に伴う三ふっ化窒素の排出量の算定に係る係数等）
第八条の二
令別表第十三の一の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇〇〇二〇とする。
2令別表第十三の二の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める係数は、次の各号に掲げる場合の区分に応じ当該各号に定めるとおりとする。
- 一半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合〇・〇二
- 二半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合〇・二〇
- 三液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合〇・〇三
- 四液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合〇・三〇