（特定排出者の事業活動に伴う六ふっ化硫黄の排出量の算定に係る係数等）
第八条
令別表第十二の一の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇〇一三とする。
2令別表第十二の三の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める係数は、次の各号に掲げる場合の区分に応じ当該各号に定めるとおりとする。
- 一半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用している場合〇・二〇
- 二液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用している場合〇・六〇
3令別表第十二の四の項の下欄のイの環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇一九とし、同欄のロの環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇〇一〇とする。
4令別表第十二の四の項の下欄のホの環境省令・経済産業省令で定める粒子加速器は、次の各号に掲げる粒子加速器とし、同欄のホの環境省令・経済産業省令で定める係数は、次の各号に掲げる粒子加速器の区分に応じ当該各号に定めるとおりとする。
- 一大学その他の研究機関において用いる粒子加速器〇・〇四五
- 二産業用の粒子加速器〇・〇七〇
- 三医療用の粒子加速器二・〇
- 四発生する放射線の有するエネルギーが一メガ電子ボルト未満である粒子加速器（前三号に掲げるものを除く。）〇・〇七〇