第七条
令別表第十一の一の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇〇三一とする。
2令別表第十一の二の項の下欄のイの環境省令・経済産業省令で定めるパーフルオロカーボンは、次の各号に掲げるパーフルオロカーボンとし、同欄のイの環境省令・経済産業省令で定める係数は、次の各号に掲げるパーフルオロカーボンの区分に応じ当該各号に定めるとおりとする。
- 一パーフルオロメタン（半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用されたものに限る。）〇・九〇
- 二パーフルオロメタン（液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用されたものに限る。）〇・六〇
- 三パーフルオロエタン（半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用されたものに限る。）〇・六〇
- 四パーフルオロエタン（液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用されたものに限る。）一・〇
- 五パーフルオロプロパン〇・四〇
- 六パーフルオロシクロブタン〇・一〇
3令別表第十一の二の項の下欄のロの環境省令・経済産業省令で定めるパーフルオロカーボンは、次の各号に掲げるパーフルオロカーボンとし、同欄のロの環境省令・経済産業省令で定める係数は、次の各号に掲げるパーフルオロカーボンの区分に応じ当該各号に定めるとおりとする。
- 一パーフルオロエタン〇・二〇
- 二パーフルオロプロパン〇・一〇
- 三パーフルオロシクロブタン（半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用されたものに限る。）〇・一〇
- 四パーフルオロシクロブタン（液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用されたものに限る。）〇・〇一〇
4令別表第十一の二の項の下欄のハの環境省令・経済産業省令で定めるパーフルオロカーボンは、パーフルオロシクロブタンとし、同欄のハの環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・一〇とする。
5令別表第十一の二の項の下欄のニの環境省令・経済産業省令で定めるハイドロフルオロカーボンは、トリフルオロメタンとし、同欄のニの環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇七〇とする。
6令別表第十一の二の項の下欄のホの環境省令・経済産業省令で定めるハイドロフルオロカーボンは、トリフルオロメタンとし、同欄のホの環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇五〇とする。
7令別表第十一の二の項の下欄のヘの環境省令・経済産業省令で定める係数は、次の各号に掲げる場合の区分に応じ当該各号に定めるとおりとする。
- 一半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合〇・〇二〇
- 二半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合〇・〇九〇
8令別表第十一の二の項の下欄のトの環境省令・経済産業省令で定めるパーフルオロカーボンは、パーフルオロメタンとし、同欄のトの環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・七〇とする。
9令別表第十一の三の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める用途は、次の各号に掲げる用途とする。